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  • 产品名称:uPG 101

  • 产品型号:G5993F272E6AC4
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简单介绍:
uPG 101 是很经济,容易去用微型发生器进行直写应用和低容量掩模制作的一个系统。这个系统可运用的应用有,微电子机械系统、生物微系统、集成光学、微流道或者其他需要高分辨率的微型系统。他的面积很小只有60*1875px^2,独特的紧凑结构,使得所有的电子分量都可以完整的包含在这个系统中。个人电脑可以用来控制这个系统,这个基于操作软件的图形用户界面使用户更容易去进行设计,生成目录,自动对准和生成曝光。
详情介绍:

uPG 101 

uPG 101 是很经济,容易去用微型发生器进行直写应用和低容量掩模制作的一个系统。这个系统可运用的应用有,微电子机械系统、生物微系统、集成光学、微流道或者其他需要高分辨率的微型系统。他的面积很小只有60*1875px^2,独特的紧凑结构,使得所有的电子分量都可以完整的包含在这个系统中。个人电脑可以用来控制这个系统,这个基于操作软件的图形用户界面使用户更容易去进行设计,生成目录,自动对准和生成曝光。

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重要特征选项

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*小基板尺寸  6x  6”

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*小庙会尺寸0.6um

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*小描绘网格20nm

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基本灰度曝光模式

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实时自动对焦系统

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标准或者紫外二级管激光源

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矢量和栅格曝光模式

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可交换的写模式

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摄像系统的一致性

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多种数据输入模式

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技术参数

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写入模式

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1

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2

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3

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4

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*小结构大小(um)

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0.6

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1

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2.5

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5

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写速度(mm^2/min)

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1

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5

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35

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90

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地址网格(nm)

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20

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40

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100

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200

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边缘粗糙度(3σ,nm)

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100

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120

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200

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400

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线宽均匀度(3σ,nm)

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150

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200

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400

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800

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线条测量精度(3σ,nm)

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200

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200

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400

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800

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