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  • 产品名称:Lyncee tec反射式数字全息显微镜

  • 产品型号:R2100
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简单介绍:
瑞士Lyncee Tec SA www.lynceetec.com 瑞士Lyncee Tec SA公司的数字全息显微镜“DHM(Digital Holographic Microscopy)是划时代性的高科技技术产品,科学史上**次, 数字全息显微镜可以直接观测到纳米尺度的分辨率,即时得到样品三维型貌,并且是无接触式的无损测量。
详情介绍:

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反射式数字全息显微镜

反射式配置数字全息显微镜,无需扫描,非接触式测量动、静态物体三维样貌及振动特性的测量方法。根据波长的不同将反射式DHM分为三种型号:

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R1000-配备单一光源,是测量光滑表面和振动的标准测量工具

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R2100-同时配置双波长,实现复杂或不连续结构的测量。

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R2200-在R2100基础上多了第三方光源来扩展测量能力,特别是测量透明模式。

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反射式DHM的特性:

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快速3D样貌测量法

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MEMS分析,*高频率可达25Mh

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DHM测量表面三维样貌,单一响应,无需扫描机制。无与伦比的快速采集,相机速度达1000fps允许:

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可变形样品的3D动态研究

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常规检查与高生产率

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短余辉荧光屏及大型表面的分析

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捕捉生产线的三维地貌

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同步DHM 可选频闪单元,测量MEMS装置的激励信号。这一独特数据分析提供:

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三维地貌的时序

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共振频率和响应

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振动振幅平面外分辨率可达5pm,平面内可达1nm

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表征复杂运动和样品

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测量可控制环境条件

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透明模式的地貌测量

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DHM独特的光学配置允许用户测量*佳光学质量指标:

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通过玻璃和浸没液体

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内部环境和真空室,控制温度,湿度,压强,气体成分。

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可选DHM反射式测量法分析软件允许以下测量:

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透明结构的地形

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厚度和折射率,多层结构的厚度值

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从10nm到几十微米

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柔软材料和液体的地形

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?

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反射式DHM主要参数:

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系统

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DHM型号

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R1000

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R2100

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R2200

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光源数量

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1

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2

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3

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操作波长(±0.1nm)

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666nm

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794nm

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666 nm, 794 nm, 680 nm

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激光波长稳定性

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0.01 nm / °C at 666

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样品台

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手动或自动XYZ平台,行程300 mm x 300 mm x 38 mm

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物镜

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放大倍数1.25x到100 x,标准,高数值孔径,长工作距离,水/油浸物镜

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物镜转轮

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六孔转盘

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计算机

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DELL工作站,*新多核Intel处理器,高性能图像卡,配置*小21英寸显示屏及鼠标,

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软件

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基于C++和.NET的Koala软件,额外可选软件模块可用于先进分析

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数据兼容性

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测量数据记录在二进制表格,可导出.txt格式,记录和重建图像可导出.tif格式或.txt数组

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?

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技术参数:

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性能参数

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测量模式

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666nm单波长

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合成短波长4.2um

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合成长波长24um

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DHM型号

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R1000,R2100,R2200

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R2100,R2200

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R2200

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精度[nm]

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0.15  

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0.15   / 3.0 *

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20

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垂直分辨率[nm]

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0.30

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0.30   / 6.0 *

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40

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重复性[nm]

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0.01

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0.01   / 0.1 *

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0.5

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垂直测量范围

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up   to 200 μm

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up   to 200 μm

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up   to 200 μm

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锐利边缘*大台阶高度

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up   to 333 nm

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up   to 2.1 μm

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up   to 12 μm

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表面类型

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光滑表面

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复杂,非连续表面

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复杂非连续表面

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垂直校准

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取决于干涉滤光片,±0.1 nm

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响应时间

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标准500us,10us(可选)

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响应速度

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标准30帧(1024*1024像素),可选达1000帧

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重建速率

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高达25帧1024*1024像素全息图(依赖于数据分析)(可选60帧)

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水平分辨率

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取决于物镜,低至300nm

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视野

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取决于物镜,从66um x66um到5um x5um范围

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工作距离

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